林本堅從網球體悟人生

林本堅從網球體悟人生

撰文者：數位時代 發表日期：2006/02/15      

林本堅 台積電微製像技術處資深處長 現年64歲，美國俄亥俄州立大學電機博士、碩士、台灣大學電機系。曾於IBM華生實驗室工作22年，後來自行創業8年。2000年加入台積電，為次微米光刻技術世界級權威，發表63篇論文、獲得35項專利，目前為三本國際科學期刊的總編輯。獲得IEEE（國際電機電子工程學會）、SPIE（國際光學工程學會）院士。

一月中旬新竹出現難得的驕陽，清大網球場上出現一批不到十二歲的小朋友們底線邊上，來回抽球奔跑熱身，這是台積電第三度舉辦的「台積之友盃」十二歲級網球精英賽，只有排名全台前十六強的明日之星得以受邀參賽。 場邊出現一個特別面孔，他是台積電微製像技術處資深處長林本堅。身為這屆比賽贊助者的他，不只站在場邊觀賽，更是親自下場與小球員進行雙打友誼賽。 在「台積之友盃」十二歲級網球精英賽中，得到前四名的小選手們，可獲得一年的獎助學金，其中冠軍選手每月有四千元新台幣的獎勵。友誼賽結束後，林本堅走下球場，還有點氣喘吁吁的他，完全不介意剛剛自己這隊輸球，豎起大拇指讚賞這些小選手，「我十二歲連球拍都沒摸過，他們的表現實在厲害，希望他們繼續努力下去。」

母親的禮物
從小接觸半導體關鍵技術

雖然十二歲的「小」林本堅，沒有機會打網球。但是那年媽媽送他一台老式的六×照相機，卻讓他一頭栽進光學世界，五十多年來從一而終，成為世界級的微影專家。 在半導體製造的世界裡，微影技術至為重要。它的好壞，足以影響半導體廠商是否能繼續將製程微縮，往下一個世代邁進，而不被淘汰出局。被業界喻為「全球十多位專家中排名非常前面」的林本堅，於二○○二年研發出來一九三奈米浸潤式(Immersion)微影技術，讓台積電一口氣跳躍成長三個技術世代，成為世界的領先者，「現在，我們有本事做到一九奈米，」一直深受張忠謀器重的林本堅強調，因為成本的考量，這技術至少要到二○一○年才會普遍。 從小生長在越南西貢的林本堅，父親是當地英文高中的校長，家境優渥，高三那年，他獨立一人來台就讀新竹中學，隔年考上台大電機系。電機系畢業後，因為母親贈送的相機，而對光學產生興趣的他，選擇前往美國俄亥俄州大學研究新興雷射，並以全像學(Holography)研究(光儲存的技術之一，可加大單位面積的儲存容量)拿到電機博士。

五十歲創業
八年後結束公司加入台積電

取得博士後，林本堅前往當時技術最先進的ＩＢＭ工作，一待就是二十二年。在紐約華生實驗室(Watson Lab)從事研究的他，帶領團隊從一微米的光刻技術開始研發，一路前進到○．七五、○．五微米。同時，被林本堅第一個研發出來，命名為深紫外線(Deep UV)的世界最短波長光線，至今已問世將近三十年，目前仍為許多半導體廠採用。「當時，他的每一個研究成果，都是領先全世界，」比林本堅晚加入華生實驗室的鈺創董事長盧超群，非常讚賞這位大師級的前輩。 在研究領域一帆風順的林本堅，在他五十歲那年，決定讓生命變得不平凡，出來創業。「那年我剛好取得退休資格，我就問我自己：要不要出來看看世界？」當時他太太也在ＩＢＭ做系統分析，收入算不錯，加上兩個小孩都已經大學畢業，在不需要為錢繼續留在ＩＢＭ的考量下，所以決定創業。 「這是我最後的機會，如果不出來，我一輩子會後悔沒有出來。」在家人的支持下，為降低風險，要太太不能辭職的他，自己跑到德州奧斯汀(Austin)，創立領創公司(Linnovation)，開發與微影技術相關的軟體。但是，在競爭對手遭大公司併購後，林本堅的這家小公司顯得勢孤力單。正當他祈求十四歲就開始信仰的上帝，希望有人出手購買時，一九九七年回台接任台積電研發資深副總的蔣尚義，突然撥了通電話給他，希望能借助他的技術，將微影跟光罩結合，突破台積電遇到的瓶頸。

突破性研究
使台積電主導業界規格

在與蔣尚義接觸的兩個月裡，他非常肯定蔣尚義提出的「遠見」，於是他決定讓人生再轉個彎，結束八年的創業生涯，加入台積電。林本堅讓他五十歲後的人生，產生許多彎角，但他始終不放棄的就是「微影」。這就像是一盤正在搶七、雙方僵持不下的賽局，改變戰略上網截擊，才會有「贏球」的機會。 事實上，九○年代末期半導體快速演進，也讓產業的藍圖出現瓶頸和歧路，像是一九三奈米波長的機台，從一九九六年開始，逐漸出現無法突破的極限，從那時候開始，就有非常多業者投入一五七奈米波長的研究，但經過幾年下來，成效不佳，幾十億美元的研發費用就這樣蒸發。當時，也沒有一套完整解決方法的林本堅，有天突然靈機一動，想到水的折射效應，經過計算波長可減少到一三四奈米，比一五七奈米還低，而且又可節省成本。 二○○二年一場國際光電學會技術研討會上，林本堅發表的這項實驗結果技驚四座，讓浸潤式微影技術取得江湖地位，也讓台積電首次主導業界規格。一年後，與荷蘭ＡＳＭＬ半導體設備公司共同研發的機台也順利問世，包括ＩＢＭ在內十家已訂購一五七乾式機台的業者，決定全部退單，跟進台積電。之後，林本堅為台積電光罩和光刻研發團隊建立的○．一三微米製程，也達到與英特爾同步的境界，「我對Burn(林本堅的英文名字)的技術，真的是非常佩服，」台積電研發資深副總蔣尚義說，「還好當年有把他找回來。」

關鍵性成就
台積電取得規格主導權

去年底，在半導體業界裡有著崇高地位的ＩＥＤＭ(International Electron Devices Meeting)國際研討會上，台下坐了二千位包括德州儀器(ＴＩ)技術長(Hans Stork)在內的英特爾、ＩＢＭ、摩托羅拉(Motorola)等半導體廠的菁英研發人員，他們都在仔細聆聽代表台積電第一次受邀演講的林本堅，發表「次六五奈米製程以下的微影技術」(Lithography for Manufacturing of Sub-65nm Nodes and Beyond)，只要將水換成一種更濃的介質後，就可以推進到一九奈米的光刻技術，「現場所有人眼睛都睜得大大的，」又一次獲得滿堂彩的他，小小驕傲地表示，「到目前為止都還沒有人反對我的理論。」 如今，這位六十四歲的世界級微影大師，或許在網球場上已經做不出優美的截擊，但他早已經贏得這場人生的賽局。 網球與微影 激發林本堅的人生智慧 愛運動的林本堅，年輕時喜歡打羽毛球或是乒乓球，直到四十歲時，才在同事的慫恿下，決定改打網球。然而擔任這次比賽贊助人的他，也決定以「網球、晶圓、微影、人生」為題目，跟所有小選手分享他所領悟到的人生智慧。 一九七五年，林本堅在ＩＢＭ第一次接觸接晶圓時，當時的一吋晶圓只有十元硬幣的大小。隨著晶圓不斷地擴大，到了八吋的時候，「已經跟我第一隻木頭製球拍的拍面一樣大，」林本堅拿出珍藏已久的球拍，與八吋晶圓比較時表示；到了十二吋晶圓時，已經與目前的網球拍差不多大小，「球拍上的網線，也與晶圓上的格子相同。」 林本堅順手拔了一根網球上的線解釋，這些比頭髮還細的線，如果把它切開來，每個剖面可以放進六五奈米製程的三千二百個電晶體，如果用四五浸潤式機台的話，數量就會加倍。另外，如果以球場長度二十六．二公尺計算，小朋友發出來的球，只需要一秒就可以到對場，這時間已足夠讓○．一三微米電路運算三十億次，「如果是球王費德洛（Roger Federer）發球的話，也足夠運算十億次。」 談到球王，林本堅表示，小選手們除了要勤加練習外，還要培養智育與德育，才能擊敗對手。「一個底線抽球來回不到兩秒，所以要養成預測對手的能力，」他強調，要記住對方的打球習性，才能擬訂戰略，克敵制勝。但儘管球場上你來我往，但要有學會面對失敗的風度，「只有愛你的對手，你才會少一個競爭者。」 最後，他舉台積電為例，從執行長蔡力行到旗下很多主管，其實都是校隊級的運動健將、風雲人物，「我們絕對沒有刻意選擇，」他強調，一個好的領導者跟好的運動員都一樣，必須具備智慧、意志與競爭力，「有了這些，要做什麼都會成功。」