半導體大躍進功臣林本堅：先退再進 才容易成功

半導體大躍進功臣林本堅：先退再進 才容易成功
專訪第一位出身產業的中研院院士
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撰文 / 周品均
出處 / 今周刊   917期  2014/07/17

一個將「業界工作做到世界頂尖」的貢獻，讓他成為中研院首位來自產業的院士。他的理論，徹底改變台積電與半導體產業的命運，他是台積電研發副總經理林本堅。

中研院新科院士名單公布的五天後，那是一個萬里無雲、全台壟罩在熾熱豔陽的下午，林本堅在台積電總部接受《今周刊》團隊專訪，這是行事低調的他近十年首度接受媒體專訪。

頭髮灰白，身著簡單淺色襯衫、打著領帶的林本堅，看來才剛把手邊研發工作暫告一段落，神情仍略顯嚴肅，但他開口第一句話卻是關心我們的拍照需求，「需要我穿上西裝外套讓你們拍照嗎？」

用一滴水幫助半導體躍入新未來

二○○二年夏天，一場在美國舉行的半導體研討會，徹底改變產業未來十年的發展。一位來自台灣的工程師，大膽提出以「水」作為介質的浸潤式微影技術，開啟了半導體新的一頁。讓製程得以順利推進六五奈米以下世代，也將台積電推向足以和ＩＢＭ、英特爾等半導體巨頭並駕齊驅的領導地位。

這位改寫半導體微影藍圖的關鍵主講人，就是現任台積電研發副總經理的林本堅。台積電前共同營運長蔣尚義就曾說：「全球專精此技術的不超過十人，林本堅是排名很前面的一位。」

十二年過後，林本堅的浸潤式微影技術已引領產業往十奈米推進，台積電早在五五奈米就已經超越ＩＢＭ陣營，而他仍堅守研發崗位，正在為幾年後的技術做足準備。

這樣的精神與成就讓林本堅在今年獲選為中研院院士，並且開創國內最高學術殿堂首次選出非學界院士首例。

林本堅得知消息後表示：「我也很好學啊！以後就有機會與別的院士溝通，讓產業界與學界交流，做出符合業界需求的研究。」中研院院長翁啟惠也盛讚林本堅：「令人驕傲，將業界工作做到世界頂尖。