22奈米製程 台積今年著手研發

2006/01/13 06:00

量產應在2010年以後

〔記者洪友芳／新竹報導〕台積電（2330）知名的微影製像技術發展處長林本堅昨表示，透過「浸潤式微影技術」，台積電將可陸續開發出半導體先進製程技術，除了65、45奈米先進製程，今年並已看到22奈米研發可行性，但步入生產大概是2010年以後。

第3屆「台積之友盃」青少年網球12歲組年度菁英賽昨在交大綜合球館開幕，共有全國排名前16強的男女網壇明日之星參賽，今天並將安排參觀台積電，林本堅是本屆的贊助者，從40歲開始學打網球的他，球齡已超過20年，他將以「網球、晶圓、微影、人生」為題，與小球員們暢談網球和晶圓的有趣關聯，及他從研究微影技術和打球之間所領悟到的人生智慧。

林本堅指出，他剛開始學打網球時，半導體晶圓尺寸才像10元硬幣大小，僅能容納4個電路，後來漸發展到8吋、12吋，網球拍也從沉重的木製漸到目前輕巧的碳纖維，他並說，網球1根絨毛等於65奈米技術的3千2百個電晶體，雙打發球出去的1秒鐘等於0.13微米的30億電路運算次數。