0.13微米製程第四季導入
【記者丁萬鳴╱台北報導】【2001-08-23/聯合報/21版/財經焦點】
台積電昨天表示,該公司位於新竹科學園區的國內首座全規模十二吋晶圓廠──晶圓十二廠已完成零點一五微米製程全廠試量產,預計今年第四季可導入零點一三微米製程,並達到和八吋晶圓廠的相同的良率,即日起可接單全面量產。
台積電總經理蔡力行說,十二吋晶圓廠有製造技術和成本優勢,台積電十二吋廠全規模試產成功後,將可確保台積電在半導體製造服務業方面的領先。台積電晶圓十二廠今年第四季起可導入更精密的零點一三微米製程。
台積電希望以晶圓十二廠的能量為基礎,加速完成更先進的零點一零微米製程技術開發。台積電的勁敵聯電也積極布局十二吋晶圓廠,除了日本投資的TRECENTI已進入零點一五微米量產外,聯電位於台南十二A廠預計今年前也正式投產,月產五千片十二吋晶圓。
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