廖啟宏
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2021年2月15日 星期一
2021-02-15 挽救摩爾定律：ASML 極紫外光（EUV）微影技術量產的開發歷程
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********** 故事重點是：2018 荷蘭ASML發表微影技術 宣示7奈米之後開始進入 極紫外光EUV 微影時代 好的 為什麼2018年 台積電 還在用DUV 微影技術 量產7奈米製程 ? 有趣的事情 韓國三星電子2018 7奈米就在使用EUV微影量產7奈米製程 ! *...
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